박막공학 증보판
이문희 지음『박막공학』은 박막기술의 기초가 되는 진공과학부터 박막의 전자부품에로의 응용에 이르기까지, 박막공학의 여러 분야를 상세히 기술한 책이다. 박막기술의 기본이 되는 진공과학의 기초 개념 및 진공 펌프에 대해서는 2장에서 기술하고, 3~5장에서는 박막제작의 중요 원리에 대해, 6장에서는 박막제작시 부딪치는 실질적인 문제점인 기판의 전처리 및 결함을 다루었다. 8장에서는 박막제작 후 그 특성의 평가방법에 대해, 9~12장에서는 박막이 실제 전자부품에 응용되는 예를 기술하였다.
