박막공학
김홍배 지음박막기술의 기초가 되는 진공과학으로부터 시작하여 박막의 전자부품에서 응용에 이르기까지 박막공학의 여러 분야를 기초 개념부터 제작기술까지 기술하였으며 총 7장으로 구성하였다.
1장에서는 진공의 기초 원리에 대해 서술하였고, 2장에서는 진공을 형성하는데 필요한 진공펌프를 종류별로 설명하였다. 3장에서는 진공도를 측정할 때 쓰이는 진공게이지를 다루며, 4장에서는 플라즈마의 기초원리에서부터 플라즈마를 이용한 식각방법, 5장에서는 플라즈마를 이용한 박막의 제조방법에 대해 다룰 것이다.
6장에서는 박막을 측정하는 방법 중 AFM에 대해, 그리고 7장에서는 플라즈마 시뮬레이션에 대해 논의 할 것이다. 가능한 원어를 한글로 표기하고자 하였고, 부득이한 경우에는 원어로 표기하였으며 많은 그림과 데이터를 제공하여 이해를 돕고자 하였다.
1장에서는 진공의 기초 원리에 대해 서술하였고, 2장에서는 진공을 형성하는데 필요한 진공펌프를 종류별로 설명하였다. 3장에서는 진공도를 측정할 때 쓰이는 진공게이지를 다루며, 4장에서는 플라즈마의 기초원리에서부터 플라즈마를 이용한 식각방법, 5장에서는 플라즈마를 이용한 박막의 제조방법에 대해 다룰 것이다.
6장에서는 박막을 측정하는 방법 중 AFM에 대해, 그리고 7장에서는 플라즈마 시뮬레이션에 대해 논의 할 것이다. 가능한 원어를 한글로 표기하고자 하였고, 부득이한 경우에는 원어로 표기하였으며 많은 그림과 데이터를 제공하여 이해를 돕고자 하였다.
