대충광학 : Rigorous Coupled-Wave Analysis에 대한 이해
구용성
10박막에서의 두께 분석과 OCD(Optical critical dimension) 분석을 수행하는데 기본 원리가 되는 RCWA (Rigorous Coupled-Wave Analysis) 에 대해 소개한 책. 커피 한 잔 사먹을 돈인 오천원만 이 책에 투자하면, 당신도 기본적인 광학 지식으로 박막의 두께와 패턴을 분석하는 원리를 이해할 수 있다.
1010